يقال إن الصين قامت ببناء آلة طباعة حجرية تعمل بالأشعة فوق البنفسجية القصوى داخل مختبر شديد الحراسة في شنتشن، فيما وصفته المصادر بأنه دفعة منسقة على المستوى الوطني للتغلب على نقطة الاختناق الأكثر إحكاما في صناعة الرقائق المتقدمة.
وذكرت وكالة رويترز أن الجهاز يوصف بأنه جاهز للعمل وقادر على توليد ضوء الأشعة فوق البنفسجية، على الرغم من أنه لم ينتج بعد رقائق وظيفية. وقالت المصادر إن بكين تستهدف عام 2028 لإنتاج الرقائق، على الرغم من أنها تشير إلى أن عام 2030 هو معلم أكثر واقعية.
وقال التقرير إن شركة هواوي تلعب دورًا مركزيًا، حيث تقوم بتنسيق شبكة من الشركات ومعاهد الأبحاث الحكومية في جميع أنحاء البلاد والتي تضم آلاف المهندسين. وقارنت المصادر الجهود المبذولة بالنسخة الصينية من مشروع مانهاتن، وهو البرنامج الأمريكي السري للغاية في زمن الحرب الذي حشد العلماء والصناعة والدولة لتطوير القنبلة الذرية في الفترة من 1942 إلى 1947.
وقالت مصادر لرويترز إن النموذج الأولي لآلة EUV تم الانتهاء منه في أوائل عام 2025 ويخضع الآن للاختبار. وقال التقرير إن الآلة تملأ أرضية المصنع بالكامل تقريبا وتم تجميعها من قبل فريق يضم مهندسين سابقين من شركة ASML الهولندية لمعدات أشباه الموصلات.
ووفقا لوسائل الإعلام الصينية، يعمل فريقان من العلماء بالتوازي لتطوير مصادر ضوء الأشعة فوق البنفسجية لإنتاج الرقائق المتطورة.
يقود أحد الفرق لين نان، وهو مهندس سابق في ASML ويعمل حاليًا أستاذًا في كلية علوم وهندسة الدوائر المتكاملة بجامعة Beihang. ويقود الفريق الآخر تشاو يونغ بنغ، الأستاذ في معهد هاربين للتكنولوجيا. يستخدم كلا الفريقين أشعة ليزر الحالة الصلبة لتسخين وتبخير قطرات القصدير لتوليد ضوء الأشعة فوق البنفسجية، في حين تستخدم ASML ليزر ثاني أكسيد الكربون الذي توفره شركة Cymer التابعة لها ومقرها الولايات المتحدة.
ومن غير الواضح ما إذا كان لين هو المسؤول عن المختبر السري للغاية في شنتشن. قبل ذلك، ذكرت بعض وسائل الإعلام الصينية في مارس من هذا العام أن شركة هواوي كانت تختبر جهازًا مخصصًا للأشعة فوق البنفسجية في مصنع في دونغقوان بمقاطعة قوانغدونغ.
وقالوا إن معهد هاربين للتكنولوجيا كان مسؤولاً عن مصدر الضوء، ومعهد تشانغتشون للبصريات للأنظمة البصرية، ومجموعة شنغهاي لمعدات الإلكترونيات الدقيقة (SMEE) للتكامل الشامل.
كما شاركت هواوي وشركة SiCarrier المدعومة من الدولة في شنتشن بعمق، حيث قامتا بالتنسيق مع أكثر من 3000 باحث في تطوير معدات الطباعة الحجرية والترسيب والحفر.
ونشرت صحيفة جلوبال تايمز، وهي صحيفة متحالفة مع الحزب الشيوعي الصيني، يوم الجمعة تعليقا بعنوان “ليست هناك حاجة لرويترز للقلق بشأن التقدم التكنولوجي في الصين”.
وجادل المقال بأن تقرير رويترز، الذي اعتمد بشكل كبير على مصادر لم يذكر اسمها، يعكس القلق الغربي وليس الحقائق، ويصور آلات الطباعة الحجرية على أنها المعقل الأخير المفترض للهيمنة التكنولوجية الغربية.
ومع ذلك، لم ينكر tt وجود معمل أبحاث EUV عالي الأمان في قوانغدونغ. وقالت الصحيفة المتحالفة مع الدولة إن الصين سعت منذ فترة طويلة إلى إيجاد بدائل محلية لأدوات الطباعة الحجرية المستوردة، مستشهدة بالتقدم الذي تم الكشف عنه رسميًا في آلات الأشعة فوق البنفسجية العميقة، ووصفت استراتيجية بكين التكنولوجية بأنها تعتمد على الاعتماد على الذات مقترنًا بالانفتاح المستمر على التعاون الدولي.
وقال التعليق إن ضوابط التصدير لم تبطئ التقدم التكنولوجي في الصين، ولكنها بدلا من ذلك حفزت الابتكار المحلي. وقالت إن الاختراقات التي حققتها الصين ستفيد البشرية وتتعايش مع الانفتاح والتعاون، محذرة من أن الجهود المبذولة لمنع الصين يمكن أن تؤدي إلى تفتيت سلاسل توريد التكنولوجيا العالمية.
الصين البحوث الجارية
بعد أن تحركت الولايات المتحدة في عام 2019 لمنع مبيعات آلات الطباعة الحجرية ذات الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة من ASML إلى الصين، بدأت بكين في ضخ موارد كبيرة في تطوير الطباعة الحجرية المحلية. ومع ذلك، فقد تم إضعاف أجزاء من الجهود بسبب فضائح عدم الكفاءة والفساد في قطاع أشباه الموصلات.
ويوضح المسار الوظيفي للين الموهبة التي سعت بكين إلى حشدها، والغموض الذي يحيط بمشروع الأشعة فوق البنفسجية.
في أبريل 2021، غادر لين هولندا، حيث كان يعمل كعالم في أبحاث ASML منذ أكتوبر 2015، لتولي منصب نائب مدير في مختبر الدولة الرئيسي لعلوم وتكنولوجيا الليزر فائقة الكثافة في معهد شنغهاي للبصريات والميكانيكا الدقيقة، الأكاديمية الصينية للعلوم (CAS). وفي أكتوبر من هذا العام، التحق بجامعة Beihang.
وقالت ASML في تقريرها السنوي لعام 2022: “لقد شهدنا اختلاسًا غير مصرح به للبيانات المتعلقة بالتكنولوجيا الخاصة من قبل موظف سابق (الآن) في الصين”. “لقد بدأنا على الفور إجراء مراجعة داخلية شاملة. وبناءً على النتائج الأولية التي توصلنا إليها، لا نعتقد أن الاختلاس له أهمية كبيرة بالنسبة لأعمالنا.”
وأضافت الشركة أن الحادث ربما يكون ينطوي على انتهاكات للوائح مراقبة الصادرات، وقالت إنها أبلغت السلطات المختصة بالأمر.
لا يوجد دليل على أن لين كان الموظف السابق المشار إليه في كشف ASML. ولا تشير المعلومات المتاحة للعامة أيضًا إلى أن لين انتقل إلى Shenzhen أو لديه أي اتصال رسمي ببرنامج EUV المُبلغ عنه من Huawei.
ومع ذلك، فإن بحثه الحالي يعتمد بشكل واضح على الخبرة التي اكتسبها على مدى أكثر من خمس سنوات في قسم أبحاث ASML، وخاصة في توليد ضوء الأشعة فوق البنفسجية المعتمد على الليزر. كان لين، عضو الحزب الشيوعي الصيني، تلميذا لآن لولييه، الحائزة على جائزة نوبل في الفيزياء لعام 2023.
في ديسمبر 2024، نشر لين وفريقه بحثًا أكاديميًا يوضح كفاءة التحويل (CE) بنسبة 3.42% في تجربة تهدف إلى توليد ضوء الأشعة فوق البنفسجية. نُشرت الدراسة في مارس 2025 من قبل مجلة Laser Press الأكاديمية الصينية.
وأشارت الورقة إلى أنه حتى مركز الأبحاث المتقدمة للطباعة الحجرية النانوية (ARCNL) حقق 3.2% فقط من CE في تجربة مماثلة في عام 2019. وتعني كفاءة التحويل الأعلى أن هناك حاجة إلى طاقة أقل لإنتاج ضوء EUV قابل للاستخدام، مما يجعل من الأسهل الانتقال من التجارب المعملية إلى أنظمة الطباعة الحجرية العملية.
وقال فريق لين، من الناحية النظرية، سيصل CE إلى 6% في المستقبل، وهو ما يلبي المعيار التجاري البالغ 5.5%.
وفقًا للورقة البحثية، استخدم الفريق ليزر Nd:YAG (عقيق ألومنيوم الإيتريوم المغطى بالنيوديميوم) بقوة 1064 نانومتر مع طاقة نبضية قصوى تبلغ 600 مللي جول لتسخين وتبخير قطرات القصدير المنصهرة، مما ينتج عنه إشعاع EUV. قوة جهاز الليزر مماثلة لتلك المستخدمة في إزالة الوشم وعلاج فطريات الأظافر.
يتناول كاتب عمود مقيم في خبي ولقبه لي مسألة سبب استخدام فريق لين ليزر الحالة الصلبة بدلاً من تكرار نهج ASML في استخدام ليزر ثاني أكسيد الكربون عالي الطاقة.
ويقول: “إن أشعة الليزر ذات الحالة الصلبة منتشرة بالفعل على نطاق واسع في التطبيقات الصناعية في الصين، والتي تمثل حوالي 34% من إيداعات براءات الاختراع العالمية في هذا المجال”. “يسمح اختيار هذا المسار التكنولوجي للباحثين بالبناء على نقاط القوة الصناعية الحالية مع تجنب حواجز براءات الاختراع المرتبطة بأنظمة ليزر ثاني أكسيد الكربون، مما يقلل من تكلفة ومخاطر نقل التكنولوجيا.”
يقال إن فريق تشاو البحثي يستخدم ليزر الحالة الصلبة لتبخير قطرات القصدير، ولكن مع خطوة إضافية تعمل على تسريع تكوين البلازما عن طريق تمرير كهرباء عالية الجهد عبر قرص كهربائي. تم تصميم هذا النهج، المعروف باسم البلازما المنتجة بالتفريغ بمساعدة الليزر (LDP)، لإنتاج مصدر ضوء UVV مستقر وموثوق.
وفقًا لوسائل الإعلام الصينية، يبلغ إنتاج الأشعة فوق البنفسجية لنظام هاربين حوالي 100 واط، وهو لا يزال أقل بكثير من عملية البلازما المنتجة بالليزر (LPP) الخاصة بشركة ASML، والتي يمكنها توفير ما يقرب من 600 واط من طاقة الأشعة فوق البنفسجية.
وأشار بعض المحللين إلى أنه بسبب الفيزياء الأساسية، فإن أنظمة تشاو القائمة على الحزب الليبرالي الديمقراطي تشكل تحديًا في التوسع إلى مستويات طاقة أعلى بكثير. هذا هو السبب في عدم استخدام LDP عادةً في الطباعة الحجرية للرقائق، ولكن في تطبيقات مثل فحص عيوب القناع الضوئي واختبارات إطلاق الغازات المقاومة للضوء.
اقرأ: وبحسب ما ورد عثرت الصين على الطباعة الحجرية DUV الخاصة بـ ASML ذات الهندسة العكسية
اتبع جيف باو على تويتر على @jeffpao3
