يقال إن شركة صينية طلبت الدعم الفني من ASML، أكبر مورد لمعدات صناعة الرقائق في العالم، بعد أن فشلت في إعادة تجميع آلة الطباعة الحجرية العميقة فوق البنفسجية (DUV) بعد عملية تفكيك داخلية بسبب الهندسة العكسية المزعومة.
“لقد تعطلت مؤخرًا آلة ASML DUV التي استخدمتها الصين لصنع رقائقها. وقد اتصلوا بالشركة الهولندية للمساعدة في إصلاحها،” كما يقول براندون فايشيرت، أحد كبار محرري الأمن القومي في The National Interest، في منشور X. “أرسلت ASML بعض التقنيات. واكتشفوا أن الصينيين كسروا الآلة عندما قاموا بتفكيكها وحاولوا إعادة تركيبها مرة أخرى.”
يقول فايشيرت: “السبب الذي دفع الفنيين الصينيين إلى تفكيك نظام ASML DUV القديم الخاص بهم بسيط. إنهم يحاولون إيجاد طريقة للالتفاف على العقوبات الأمريكية على أحدث الأجهزة”. “من خلال تفكيك النموذج الأقدم ومحاولة إعادة بنائه، يأملون في تعلم كيفية إنتاج إصداراتهم المتقدمة. لكن يبدو أنهم ما زالوا غير قادرين على اكتشاف ذلك.”
يقول Weichert إنه لم يكن متأكدًا مما إذا كانت ASML قد أصلحت النظام. وأضاف أنه من وجهة نظره، على الرغم من احتفاظ الصين باتفاقيات الخدمة مع الشركة الهولندية، فمن غير المرجح أن تحترمها شركة ASML نظرًا لما وصفه بأنه جريمة واضحة من قبل العميل.
وجاء منشور ويشيرت، الذي نُشر في 19 أكتوبر/تشرين الأول، في لحظة حساسة في العلاقات الأمريكية الصينية. وتصاعدت التوترات السياسية بين واشنطن وبكين مع رفض الولايات المتحدة تخفيف قيود التصدير على تكنولوجيا صناعة الرقائق المتقدمة، في حين ردت الصين بتشديد ضوابط التصدير على العناصر الأرضية النادرة.
ومن المقرر أن يلتقي الرئيس الأميركي دونالد ترامب، الذي هدد بفرض رسوم جمركية إضافية بنسبة 100% على البضائع الصينية، بالرئيس الصيني شي جين بينج خلال قمة أبيك في كوريا الجنوبية في الثلاثين من أكتوبر/تشرين الأول، حيث من المرجح أن تغطي المناقشات التجارة الثنائية، وتدفقات الفنتانيل، وسياسة أشباه الموصلات، وصادرات الأتربة النادرة، وغير ذلك من القضايا الجيوسياسية الملحة.
وحتى الآن، لا يوجد مصدر آخر يمكنه التحقق من ادعاءات فايشيرت. ومع ذلك، فقد اعترف العديد من كتاب الأعمدة الصينيين بأن الهندسة العكسية هي المسار الواقعي الوحيد للصين لتقليد آلات الطباعة الحجرية الخاصة بشركة ASML.
يقول كاتب عمود مقيم في مقاطعة جيانغشي تحت اسم مستعار “Spacewave Residential”: “لقد سعت الدول الغربية، بقيادة الولايات المتحدة، منذ فترة طويلة إلى تقييد وصول الصين إلى تكنولوجيا أشباه الموصلات المتقدمة من خلال منع شراء أنظمة الطباعة الحجرية الرائدة”.
ويقول: “إن التحديات التي تواجه إنتاج آلات الطباعة الحجرية بشكل مستقل هائلة، لكن الصين حققت بالفعل بعض الاختراقات التكنولوجية بسوقها الواسعة، ومواردها الرأسمالية القوية، وقدراتها البحثية المتنامية”. “من خلال الهندسة العكسية، يتقن الباحثون الصينيون تدريجيا المكونات الرئيسية ويضعون الأساس لنهضة صناعة الرقائق المحلية.”
ويستشهد بمثال تشاو يونج بينج، الأستاذ في كلية الملاحة الفضائية بمعهد هاربين للتكنولوجيا، الذي نجح في تطوير مصدر ضوء بلازما الأشعة فوق البنفسجية القصوى في عام 2024. ويؤكد أن الصين الآن على وشك كسر حصار التكنولوجيا الأجنبية وأن قطاع تصنيع الرقائق لديها سوف يستمر في التوسع.
تحديات الهندسة العكسية
لاحظ بعض المعلقين الصينيين أن الهندسة العكسية لآلات الطباعة الحجرية DUV المغمورة من ASML تمثل تحديًا معقدًا بشكل استثنائي.
سلط كاتب عمود مقيم في قوانغدونغ يكتب تحت الاسم المستعار “تشنغوا” الضوء على أربع صعوبات رئيسية:
دقة فائقة: تستخدم أنظمة DUV ليزر فلوريد الأرجون (ArF) بطول 193 نانومتر وطبقة مائية رقيقة أسفل العدسة. حتى أصغر المحاذاة غير الصحيحة يمكن أن تسبب تفاعلًا متسلسلًا لأخطاء النظام. الميكانيكا المعقدة: داخل أدوات الغمر DUV الحديثة، تتحرك مراحل الرقاقة المزدوجة بسرعة تحت العدسة بدقة أقل من نانومتر وتعالج حوالي 330 رقاقة في الساعة. يمكن أن تؤدي إزالة مرحلة واحدة دون معايرة المصنع إلى تدمير المحاذاة الدقيقة التي لا يستطيع المهندسون الميدانيون استعادتها بسهولة. تقنية متكاملة للغاية: تعتمد معدات ASML على أنظمة بصرية معقدة ومنصات حركة وبرامج تحكم تم تحسينها في أوروبا على مدى عقود. إن تكرار كل هذه التقنيات من الصفر أمر بالغ الصعوبة. معايرة الدقة: تعتمد دقة النظام على معايرة الحلقة المغلقة التي تربط بين البصريات وأجهزة الاستشعار والتحكم في الحركة. يمكن أن يؤدي تفكيك الأداة إلى تلوث الجسيمات، وانجراف مقياس التداخل، وفقدان النقاط المرجعية الرئيسية. تتطلب هذه المشكلات مفاتيح وإجراءات البرامج على مستوى البائع لتصحيحها.
وفي الوقت الحالي، فإن شركات الطباعة الحجرية الصينية الكبرى الثلاث هي شركة Shanghai Yuliangsheng Technology وشركة Shenzhen SiCarrier Technologies وشركة Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE). تعمل SiCarrier بشكل وثيق مع Huawei Technologies ولديها حصة في Yuliangsheng.
يقول سونج ييهونج، وهو كاتب عمود مقيم في هينان، إن سلسلة توريد الطباعة الحجرية المحلية في الصين آخذة في التوسع، مع ظهور العديد من اللاعبين الناشئين في مجال العدسات، وأشعة الليزر، والمكونات الدقيقة.
الشركات المصنعة للعدسات: تعد شركة Nanjing Wavelength Opto-Electronic وNingbo Yongxin Optics وMLoptic وChangchun UP Optotech من بين الشركات الرئيسية التي تنتج أو تدعم الأنظمة البصرية لصانعي الطباعة الحجرية الرائدين في الصين. تقنية الليزر والعمليات: تعمل تقنية Inno Laser Technology وKeystone Technology على تطوير مصادر الليزر المتقدمة وعمليات الزخرفة. المكونات الدقيقة: توفر شركة Chongqing Millison Technologies قواعد آلية وغرفًا مفرغة لأدوات الطباعة الحجرية المحلية.
دفع الطباعة الحجرية في الصين
لسنوات عديدة، اعتمدت الصين بشكل كبير على آلات الطباعة الحجرية الخاصة بشركة ASML لتصنيع الرقائق المتقدمة. إن سلسلة SSX600 من شركة Shanghai Microelectronics Equipment Co Ltd، وهي النموذج الأكثر تقدمًا من SMEE حتى الآن، قادرة رسميًا على إنتاج رقائق 90 نانومتر.
بعد أن حظرت الولايات المتحدة مبيعات آلات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى (EUV) من ASML إلى الصين في عام 2019، بدأت بكين في ضخ استثمارات كبيرة في تطوير الطباعة الحجرية المحلية. ومع ذلك، فإن الكثير من هذا التمويل شابته فضائح عدم الكفاءة والفساد، مما حد من التقدم التكنولوجي.
في سبتمبر 2024، أعلنت وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات (MIIT) عن إضافة نظامين للطباعة الحجرية مصنوعين محليًا إلى قائمتها الموصى بها لاعتمادها من قبل الشركات المصنعة لأشباه الموصلات الصينية. كان أحد النظامين قادرًا على إنتاج شرائح بدقة 130 نانومتر، بينما تم تصميم الآخر لإنتاج شرائح بدقة 65 نانومتر.
في الشهر الماضي، ذكرت صحيفة فايننشال تايمز أن الشركة الرائدة في صناعة الرقائق في الصين، الشركة الدولية لتصنيع أشباه الموصلات (SMIC)، كانت تختبر آلة الطباعة الحجرية المغمورة بـ DUV من صنع شركة Yuliangsheng.
من المفهوم أن الجهاز عبارة عن ماسح ضوئي DUV غاطس يستهدف إنتاج شرائح مقاس 28 نانومتر، وهو ما يطابق تقريبًا أداء تصميمات Twinscan الخاصة بشركة ASML في عام 2008. ويخطط Yuliangsheng لنشره على خطوط الإنتاج بحلول عام 2027.
اقرأ: مجموعة السبع والاتحاد الأوروبي يدرسان تحديد حدود سعرية بشأن القيود المفروضة على المعادن النادرة في الصين
اتبع جيف باو على تويتر على @jeffpao3
